0010-28715 | AMAT 300mm elektrostatischer Chuck (ESC) Heizer
Specifications
Manufacturer: AMAT
Product No.: 0010-28715
Condition: 10 Artikel auf Lager
Product Type: Elektrostatik-Spanner (ESC) Heizung
Product Origin: Australia
Payment:T/T, Western Union
Weight: 1200g
Shipping port: Xiamen
Warranty: 12 months
Produktdetails
Beschreibung
Beschreibung
Der AMAT 0010-28715 ist ein elektrostatischer Spannfutter (ESC) Heizer, der für die Halbleiterfertigung entwickelt wurde. Er ist unerlässlich für Prozesse, die eine präzise Temperaturkontrolle und gleichmäßige Erwärmung erfordern, und gewährleistet optimale Leistung während der Waferbearbeitungsschritte wie Ätzen, Abscheidung und Lithographie.
Eigenschaften
- Sorgt für präzise und gleichmäßige Erwärmung
- Hohe Temperaturbeständigkeit
- Für lange Lebensdauer ausgelegt
- Geeignet für Halbleiterfertigungsprozesse
Technische Spezifikationen
- Typ: Elektrostatischer Spannfutter (ESC) Heizer
- Durchmesser: 300 mm
- Material: Keramik mit hoher Reinheit
- Anwendung: Halbleiterfertigung
- Funktion: Erhitzt und reguliert die ESC-Temperatur während der Waferverarbeitung
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