0010-28715 | AMAT 300 mm elektrostatische Spannfutter-Heizung (ESC).
Specifications
Manufacturer: AMAT
Product No.: 0010-28715
Condition: 10 Artikel auf Lager
Product Type: Elektrostatische Chuck (ESC) Heizung
Product Origin: Australia
Payment:T/T, Western Union
Weight: 1200g
Shipping port: Xiamen
Warranty: 12 months
Produktdetails
Beschreibung
Beschreibung
Der AMAT 0010-28715 ist eine elektrostatische Spannfutterheizung (ESC), die für die Halbleiterfertigung entwickelt wurde. Es ist unerlässlich für Prozesse, die eine präzise Temperaturkontrolle und gleichmäßige Erwärmung erfordern und eine optimale Leistung bei Wafer-Verarbeitungsschritten wie Ätzen, Abscheiden und Lithografie gewährleisten.
Merkmale
- Sorgt für eine präzise und gleichmäßige Erwärmung
- Hohe Temperaturbeständigkeit
- Ausgelegt für lange Lebensdauer
- Geeignet für Halbleiterfertigungsprozesse
Technische Spezifikationen
- Typ: Elektrostatische Spannfutter-Heizung (ESC).
- Durchmesser: 300 mm
- Material: Hochreine Keramik
- Anwendung: Halbleiterfertigung
- Funktion: Erwärmt und reguliert die ESC-Temperatur während der Waferverarbeitung
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