0010-28715 | AMAT 300 mm elektrostatische Spannfutter-Heizung (ESC).

Specifications

  • Manufacturer: AMAT

  • Product No.: 0010-28715

  • Condition: 10 Artikel auf Lager

  • Product Type: Elektrostatische Chuck (ESC) Heizung

  • Product Origin: Australia

  • Payment:T/T, Western Union

  • Weight: 1200g

  • Shipping port: Xiamen

  • Warranty: 12 months

Produktdetails

Beschreibung

Beschreibung

Der AMAT 0010-28715 ist eine elektrostatische Spannfutterheizung (ESC), die für die Halbleiterfertigung entwickelt wurde. Es ist unerlässlich für Prozesse, die eine präzise Temperaturkontrolle und gleichmäßige Erwärmung erfordern und eine optimale Leistung bei Wafer-Verarbeitungsschritten wie Ätzen, Abscheiden und Lithografie gewährleisten.

Merkmale

  • Sorgt für eine präzise und gleichmäßige Erwärmung
  • Hohe Temperaturbeständigkeit
  • Ausgelegt für lange Lebensdauer
  • Geeignet für Halbleiterfertigungsprozesse

Technische Spezifikationen

  • Typ: Elektrostatische Spannfutter-Heizung (ESC).
  • Durchmesser: 300 mm
  • Material: Hochreine Keramik
  • Anwendung: Halbleiterfertigung
  • Funktion: Erwärmt und reguliert die ESC-Temperatur während der Waferverarbeitung

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