0010-27983 | AMAT PIB HTB2 MCA ESC-Heizung
Specifications
Manufacturer: AMAT
Product No.: 0010-27983
Condition: 10 Artikel auf Lager
Product Type: PIB HTB2 MCA ESC-Heizung
Product Origin: Australia
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Weight: 1200g
Shipping port: Xiamen
Warranty: 12 months
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Produktdetails
Beschreibung
Beschreibung
Der AMAT 0010-27983 ist ein 300-mm-MCA-E-CHUCK-ESC-Heizer, der für die Halbleiterfertigung entwickelt wurde. Es spielt eine entscheidende Rolle bei der Waferverarbeitung, indem es die Temperatur des elektrostatischen Chucks (ESC) steuert und aufrechterhält und so eine präzise Erwärmung für eine gleichbleibende Waferqualität gewährleistet.
Merkmale
- Sorgt für eine präzise und gleichmäßige Erwärmung
- Hohe Temperaturbeständigkeit
- Ausgelegt für lange Lebensdauer
- Geeignet für Halbleiterfertigungsprozesse
Technische Spezifikationen
- Typ: 300 mm MCA E-CHUCK ESC-Heizung
- Abmessungen: 135 x 186 x 119 mm
- Gewicht: 1,2 kg
- Anwendung: Halbleiterfertigung
- Funktion: Erwärmt und reguliert die ESC-Temperatur während der Waferverarbeitung
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